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微机械超声换能器（MUT）简介

时间: 2023-11-29 01:54:30 |   作者: 爱游戏电竞app

  ucer，UT）是指在超声波频率范围内完成声能与电能彼此转化的器材，依据换能作业状况大致上能够分为三种类型：发射型、接纳型、收发一体型。21世纪以来，为超声技能开展注入新的动力，促进超声换能器的微型化和集成化，并能够大大下降大批量出产的本钱，从而为翻开宽广的消费类运用大门奠定根底。

  近些年，根据MEMS技能的压电式微机械超声换能器（PMUT）和电容式微机械超声换能器（CMUT）产品连续问世并成功运用于智能手机、平板电脑、轿车、无人机机器人智能家居、医疗器械等。估计未来五年MUT商场的复合年增长率（CAGR）超越25%，到2028年将挨近20亿美元。

  超声换能器横截面结构示意图：（a）块体型压电超声换能器；（b）CMUT；（c）PMUT（来历：DOI: 10.3390/s150408020）

  得益于压电薄膜制备及集成技能的开展，PMUT出现“百家争鸣”的局势，在飞翔时刻（ToF）测距、超声成像、指纹识别、人机交互、芯片散热等运用范畴获得重要产业化开展，例如Chirp的ToF测距传感器、茂丞科技电子烟烟油液位查验测验计划、Exo Imaging的手持式超声诊断仪、高通（Qualcomm）的指纹识别传感器、UltraSense的智能接触界面、Frore Systems的AirJet散热解决计划等。

  CMUT首要运用在于医疗成像范畴，其技能成熟度比PMUT高，以Butly Network和Kolo Medical为代表的勇于探究商业模式的公司正探究“杀手级”运用产品：面向家庭或个人运用的手持式超声成像设备。此外，根据CMUT的可穿戴贴片、血管内超声（IVUS）成像导管、心脏内超声（ICE）导管等也都具有令人等待的开展潜力。

  为了掌握新一轮的开展机会并拓荒高的附加价值的蓝海商场，很多厂商出资布局MUT及配套电路技能，并期望将ASIC与PMUT或CMUT完成单片集成。由此可见，整个MUT产业链进入“朝气蓬勃”的活泼状况，未来可期！

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