压电粉体液位传感器是被称为粉体或粉末的微粒子状物质，除了木粉、矿物粉、金属粉、树脂粉、纤维填料粉...。
压电粉体液位传感器是被称为粉体或粉末的微粒子状物质，除了木粉、矿物粉、金属粉、树脂粉、纤维填料粉、硅微粒子、陶瓷微粒子以及各类涂层粉体等会使TSP系列传感器表面发生损伤或变质的物质，均可以
*由于检测面（单晶振子金属板）中使用了铜合金，因此根据日本国内的食品卫生管理法规定，检测面原则上不可以用于与食材接触的用途。
值得注意的一点是其具有高度灵敏性，即使是因粒子间充满空气而变得轻盈蓬松的粉末也可精确判断其有无。
其大大超越其他压电型余量传感器的高度灵敏性，使其能够在以微小、轻量粉末为原料的涂料、印刷用油墨、染料、化妆品等制作的完整过程中，为粉体储料器的余量管理等带来各种优势。
以下将通过驱动原理、制造技术（结构设计）、驱动方式及电路技术的顺序，就对其灵敏性提供支持的TDK技术进行介绍。
压电振动传感器的基本驱动原理及结构与压电发音体相同。其采用了将圆板状压电陶瓷粘接于薄形金属板上的单晶结构振子（图2）。
压电陶瓷需要事先以厚度方向进行分极处理，因此如图3所示，从外部向分极方向附加电压时，器件整体将向分极方向伸缩，从而使厚度发生增减。由于其体积不可能会发生变化，因此向厚度方向（分极方向）伸长时，分极方向与直角方向（直径方向）会发生收缩，相反，如果厚度方向发生收缩，则直角方向会伸长。
然而，由于压电陶瓷被牢固地粘接在金属板上，因此如图4所示，向直径方向伸缩的力会使单晶振子整体发生弯曲。为此，在附加交流电压时，单晶会以与压电发音体相同的原理产生振动。
如后所述，在TDK的压电粉体液位传感器TSP系列中，处于蓬松云雾状态的粉体在接触单晶振动面时，根据其程度利用相位特性变化的现象，对粉体的存在进行检测。
周边支撑强度不均会对传感器检测特性带来很大影响，因此接合时需使用弹性硅树脂，并需要将粘接宽度、粘接厚度的均匀性控制在很高的水平（图5）。
如前所述，压电单晶是在压电陶瓷两面设置整面电极，通过从外部向该两面电极附加交流信号进行驱动的他励振荡方式。同时，判别传感器面有无负荷的信号中利用了单晶的相位特性变化。
Cd为静电容量、Lo为等效重量、Co为等效刚度的倒数，Ro为等效机械阻力。频率特性中阻抗的最小点为等效电路Lo、Co、Ro的串联谐振点。
此时，单晶在无负荷情况下的谐振点附近时显示电感性，而除此以外的部位则显示电容性。然而，随着检测面上附加的负荷增加，其相位特性也会慢慢发生明显的变化，在附加一定以上的负荷后，所有频率范围均会变为电容性。因此，通过确认单晶谐振点附近的相位，若其为电感性，则传感器面无负荷，若其为电容性，则表明附加有符合，即表示可检测有无粉体(图7)。
TSP系列搭载有TDK的定制IC，其中集成了扫频振荡电路、波形放大整形电路、相位检测电路、数字处理电路等，以此来实现了稳定的驱动及检测性能。
该IC以单晶的谐振频率6kHz附近为中心，对4～8kHz的频带进行扫频，从而判别来自单晶的输入信号为电感性或是电容性。1次扫频间将输出High-Low等级的2个值，若检测出电感性则为无负荷，若未检测出电感性则为有负荷。
是整个检测系统的灵魂，被世界各国列为尖端技术，特别是近年来IC技术和计算机技术的加快速度进行发展，为其发展提供了良好可靠的科学技术基础。市场上有许多类型的
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的基本原理 /
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